我国超高精度激光光刻技术取得重大突破 光刻技术概念股有哪些？

据报道，周日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生学研究所研究员张紫阳与国家纳米中心委员会研究员刘谦携手合作，共同开发了乐城新的5纳米超高精度激光光刻加工精品。该技术采用了具有完全知识产权的研究团队开发的激光直写设备，突破了传统激光直写技术中受体材料为有机光刻胶的限制，可以使用多种受体材料，大大拓展了激光直写的应用场景。

亚10nm结构在集成电路、光子芯片、微纳传感器、光电芯片和纳米器件等技术领域有着巨大的应用需求，这对微纳加工的效率和精度提出了许多新的挑战。然而，长期以来，激光直写技术难以实现纳米级的超高精度加工。中国研究团队解决了高效率和高精度之间的内在矛盾，开发的微纳加斗鱼股票新技术在集成电路、光子芯片和微机电系统等微纳加工领域显示出广阔的应用前景。

相关上市公司：

清艺光电(32.133.81%，诊断单位):主要接受激光直写生产集成电路掩膜版，客户包括SMIC-、-,-,-,诊断单位)；

苏大伟格(35.2010.00%，咨询单位):研发乐城紫外激光直写光刻关键技术、软件和设备，处于世界领先地位。该公司在互动平台上进行表演，并与中国科学院苏州纳米技术和纳米仿生研究所的所有项目进行合作。

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